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蒸鍍(du)反射鏡(jìng)

蒸(zheng)鍍反射(she)鏡

  • 所屬(shǔ)分類:蒸(zhēng)鍍反射(she)鏡
  • 浏覽(lǎn)次數:次(ci)
  • 發布日(ri)期:2025-12-15 16:04:23
  • 産(chan)品概述(shu)
  • 性能特(te)點
  • 技術(shu)參數

  蒸鍍的(de)物理過(guò)程包括(kuo):沉積材(cái)料蒸發(fā)或升華(huá)爲氣态(tai)🈚粒子→氣(qi)态👄粒子(zi)快速從(cong)蒸發源(yuan)向基片(piàn)表面輸(shū)送→氣态(tai)粒子附(fù)着在基(ji)片表面(miàn)形核、長(zhang)大成固(gù)體薄膜(mó)→薄膜原(yuán)🤟子重構(gòu)或産生(shēng)化學鍵(jiàn)合。

  将(jiāng)基片放(fang)入真空(kong)室内,以(yi)電阻、電(diàn)子束、激(ji)光等方(fāng)法加熱(rè)膜♈料,使(shǐ)🚶膜料蒸(zheng)發或升(sheng)華,氣化(hua)爲具有(yǒu)一定能(neng)量(0.1~0.3eV)的粒(lì)子(原子(zi)、分子✂️或(huo)原❌子團(tuan))。氣态粒(lì)子以基(ji)本無碰(pèng)撞的直(zhí)線運🚶‍♀️動(dòng)飛速傳(chuán)送至基(ji)片,到達(da)基片表(biǎo)面的粒(lì)子一部(bu)分被反(fan)射,另一(yi)部分吸(xī)附在基(ji)片上并(bing)發生表(biao)面擴散(sàn),沉積原(yuan)子之間(jian)産生二(èr)維碰撞(zhuàng),形成簇(cu)團,有的(de)可💃能在(zài)表面短(duan)時停留(liú)後又蒸(zhēng)發。

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